在沒有對空行程進(jìn)行連接優(yōu)化前,考慮到由于空行程不直接影響標(biāo)刻效果,傳統(tǒng)空行程采用前一條可行程的終點直接與后一條空行程的起點直線連接來過渡。但是由于振鏡系統(tǒng)的偏轉(zhuǎn)鏡片運(yùn)行接近其最大加速度和最大速度的臨界狀態(tài),由于加速度非常大,雖然空行程直線連接最短,空行程掃描所需時間能夠減少,節(jié)約每一次的標(biāo)刻時間。
但是這樣控制激光軌跡,則在實際振鏡鏡片擺動中由于振鏡轉(zhuǎn)動慣量的影響其激光運(yùn)行軌跡會與預(yù)設(shè)軌跡有所偏差,這種情況下以臨界加速度來行走空行程的一個問題是,會導(dǎo)致標(biāo)刻路徑的起點和終點處出現(xiàn)指向空行程方向的偏離。
激光打標(biāo)時,在加工設(shè)定的標(biāo)刻圖案時,激光打標(biāo)機(jī)束標(biāo)刻行程之間以空行程連接,空行程即兩條標(biāo)刻路徑之間關(guān)閉激光的那段路徑。由于空行程時激光器是關(guān)閉的,因此使用任何方式運(yùn)行空行程都是可行的。但空行程的行走卻會直接影響到實際標(biāo)刻圖案效果,對空行程與標(biāo)刻行程的連接優(yōu)化是提高實際圖形標(biāo)刻后圖形質(zhì)量的一種非常必要的步驟。
因此,采用讓空行程在起點和終點處不再走直線,而是走一條起始方向和結(jié)束方向與對應(yīng)實際標(biāo)刻路徑相切的曲線的方法來解決,同時能夠保證振鏡系統(tǒng)的偏轉(zhuǎn)鏡片運(yùn)行接近其最大加速度和最大速度的臨界狀態(tài)并順利過渡到標(biāo)刻行程,在標(biāo)刻路徑的插補(bǔ)計算上,采用速度規(guī)劃的概念來整體性地提高標(biāo)刻效率和標(biāo)刻性能。
傳統(tǒng)的空行程以前后相鄰標(biāo)刻行程端點的直線連接過渡。但由于控制激光束行徑的振鏡偏轉(zhuǎn)鏡片具有一定的轉(zhuǎn)動慣量,這種過渡形式在高速標(biāo)刻時會產(chǎn)生末段過沖和起始段側(cè)移現(xiàn)象,特別是在標(biāo)刻精細(xì)圖案時比較明顯。
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